Elektronikegaze specialejanë një degë e rëndësishme e gazeve të veçanta. Ato depërtojnë pothuajse në çdo hallkë të prodhimit të gjysmëpërçuesve dhe janë lëndë të para të domosdoshme për prodhimin e industrive elektronike si qarqet e integruara në shkallë të gjerë, pajisjet e ekranit me panele të sheshta dhe qelizat diellore.

Në teknologjinë gjysmëpërçuese, gazrat që përmbajnë fluor përdoren gjerësisht. Aktualisht, në tregun global të gazit elektronik, gazet elektronike që përmbajnë fluor përbëjnë rreth 30% të totalit. Gazrat elektronikë që përmbajnë fluor janë një komponent i rëndësishëm i gazeve elektronike speciale në fushën e materialeve informative elektronike. Ato përdoren kryesisht si agjentë pastrimi dhe gravurë, dhe mund të përdoren gjithashtu si drogë, materiale formuese filmi, etj. Në këtë artikull, autori do t'ju çojë të kuptoni gazrat e zakonshëm që përmbajnë fluor.

Në vijim përdoren zakonisht gazrat që përmbajnë fluor

Trifluori i azotit (NF3): Një gaz që përdoret për pastrimin dhe heqjen e depozitave, zakonisht përdoret për pastrimin e dhomave të reagimit dhe sipërfaqeve të pajisjeve.

Heksafluoridi i squfurit (SF6): Një agjent fluorinues i përdorur në proceset e depozitimit të oksidit dhe si një gaz izolues për mbushjen e mediave izoluese.

Fluori i hidrogjenit (HF): Përdoret për të hequr oksidet nga sipërfaqja e silikonit dhe si një etchant për gravimin e silikonit dhe materialeve të tjera.

Fluori i azotit (NF): Përdoret për të gdhendur materiale të tilla si nitridi i silikonit (SiN) dhe nitridi i aluminit (AlN).

Trifluorometani (CHF3) dhetetrafluorometan (CF4): Përdoret për gdhendjen e materialeve fluoride si fluori silikoni dhe fluori alumini.

Megjithatë, gazrat që përmbajnë fluor kanë disa rreziqe, duke përfshirë toksicitetin, gërryerjen dhe ndezshmërinë.

Toksiciteti

Disa gazra që përmbajnë fluor janë toksike, të tilla si fluori i hidrogjenit (HF), avulli i të cilit është shumë irritues për lëkurën dhe traktin respirator dhe i dëmshëm për shëndetin e njeriut.

Korroziviteti

Fluori i hidrogjenit dhe disa fluoride janë shumë gërryes dhe mund të shkaktojnë dëme serioze në lëkurë, sy dhe traktin respirator.

Ndezshmëria

Disa fluoride janë të ndezshme dhe reagojnë me oksigjenin ose ujin në ajër për të lëshuar nxehtësi të fortë dhe gazra toksikë, të cilët mund të shkaktojnë zjarr ose shpërthim.

Rrezik nga presioni i lartë

Disa gazra të fluorizuar janë shpërthyes nën presion të lartë dhe kërkojnë kujdes të veçantë kur përdoren dhe ruhen.

Ndikimi në mjedis

Gazrat që përmbajnë fluor kanë jetëgjatësi të lartë atmosferike dhe vlera të GWP, të cilat kanë një efekt shkatërrues në shtresën e ozonit atmosferik dhe mund të shkaktojnë ngrohjen globale dhe ndotjen e mjedisit.

Aplikimi i gazrave në fusha të reja si elektronika vazhdon të thellohet, duke sjellë një sasi të madhe të kërkesës së re për gazet industriale. Bazuar në sasinë e madhe të kapaciteteve të reja prodhuese të komponentëve kryesorë elektronikë si gjysmëpërçuesit dhe panelet e ekranit në Kinën kontinentale në vitet e ardhshme, si dhe në kërkesën e fortë për zëvendësimin e importit të materialeve kimike elektronike, industria vendase e gazit elektronik do të hapë një normë të lartë rritjeje.