Elektronikegaze të veçantajanë një degë e rëndësishme e gazrave specialë. Ato depërtojnë pothuajse në çdo hallkë të prodhimit të gjysmëpërçuesve dhe janë lëndë të para të domosdoshme për prodhimin e industrive elektronike, siç janë qarqet e integruara në shkallë ultra të madhe, pajisjet me ekran të sheshtë dhe qelizat diellore.

Në teknologjinë gjysmëpërçuese, gazrat që përmbajnë fluor përdoren gjerësisht. Aktualisht, në tregun global të gazit elektronik, gazrat elektronikë që përmbajnë fluor përbëjnë rreth 30% të totalit. Gazrat elektronikë që përmbajnë fluor janë një përbërës i rëndësishëm i gazrave të veçantë elektronikë në fushën e materialeve të informacionit elektronik. Ato përdoren kryesisht si agjentë pastrimi dhe agjentë gdhendës, dhe mund të përdoren gjithashtu si dopantë, materiale që formojnë film, etj. Në këtë artikull, autori do t'ju ndihmojë të kuptoni gazrat e zakonshëm që përmbajnë fluor.

Gazrat që përmbajnë fluor përdoren zakonisht në vijim:

Trifluorur azoti (NF3): Një gaz i përdorur për pastrimin dhe heqjen e depozitave, zakonisht i përdorur për pastrimin e dhomave të reagimit dhe sipërfaqeve të pajisjeve.

Heksafluorid squfuri (SF6)Një agjent fluorizues i përdorur në proceset e depozitimit të oksidit dhe si gaz izolues për mbushjen e mediave izoluese.

Fluorur hidrogjeni (HF): Përdoret për të hequr oksidet nga sipërfaqja e silikonit dhe si një gërryes për gërryerjen e silikonit dhe materialeve të tjera.

Fluori i azotit (NF): Përdoret për të gdhendur materiale të tilla si nitridi i silikonit (SiN) dhe nitridi i aluminit (AlN).

Trifluorometan (CHF3) dhetetrafluorometan (CF4)Përdoret për të gdhendur materiale fluoride si fluoridi i silikonit dhe fluoridi i aluminit.

Megjithatë, gazrat që përmbajnë fluor kanë rreziqe të caktuara, duke përfshirë toksicitetin, gërryerjen dhe ndezshmërinë.

Toksiciteti

Disa gazra që përmbajnë fluor janë toksike, siç është fluori i hidrogjenit (HF), avulli i të cilit është shumë irritues për lëkurën dhe traktin respirator dhe i dëmshëm për shëndetin e njeriut.

Korroziviteti

Fluori i hidrogjenit dhe disa fluoride janë shumë gërryes dhe mund të shkaktojnë dëme serioze në lëkurë, sy dhe traktin respirator.

Ndezshmëria

Disa fluoride janë të ndezshme dhe reagojnë me oksigjenin ose ujin në ajër për të çliruar nxehtësi të fortë dhe gazra toksikë, të cilët mund të shkaktojnë zjarr ose shpërthim.

Rrezik nga presioni i lartë

Disa gazra të fluorizuara janë shpërthyese nën presion të lartë dhe kërkojnë kujdes të veçantë gjatë përdorimit dhe ruajtjes.

Ndikimi në mjedis

Gazrat që përmbajnë fluor kanë jetëgjatësi të lartë atmosferike dhe vlera të larta të GWP-së, të cilat kanë një efekt shkatërrues në shtresën e ozonit atmosferik dhe mund të shkaktojnë ngrohjen globale dhe ndotjen e mjedisit.

Zbatimi i gazrave në fusha të reja si elektronika vazhdon të thellohet, duke sjellë një sasi të madhe kërkese të re për gazra industrialë. Bazuar në sasinë e madhe të kapacitetit të ri të prodhimit të komponentëve kryesorë elektronikë, siç janë gjysmëpërçuesit dhe panelet e ekranit, në Kinën kontinentale në vitet e ardhshme, si dhe kërkesën e fortë për zëvendësimin e importit të materialeve kimike elektronike, industria vendase e gazit elektronik do të sjellë një shkallë të lartë rritjeje.