Elektronikgazra të veçantëjanë një degë e rëndësishme e gazrave specialë. Ata depërtojnë pothuajse në çdo lidhje të prodhimit të gjysmëpërçuesit dhe janë lëndë të para të domosdoshme për prodhimin e industrive elektronike siç janë qarqet e integruara të shkallës ultra të mëdha, pajisjet e shfaqjes së panelit të sheshtë dhe qelizat diellore.

Në teknologjinë gjysmëpërçuese, gazrat që përmbajnë fluorin përdoren gjerësisht. Aktualisht, në tregun global të gazit elektronik, gazrat elektronikë që përmbajnë fluorin përbëjnë rreth 30% të totalit. Gazrat elektronikë që përmbajnë fluorin janë një përbërës i rëndësishëm i gazrave elektronikë specialë në fushën e materialeve të informacionit elektronik. Ato përdoren kryesisht si agjentë pastrimi dhe agjentë të etching, dhe gjithashtu mund të përdoren si dopantë, materiale për formimin e filmit, etj. Në këtë artikull, autori do t'ju marrë për të kuptuar gazrat e zakonshëm që përmbajnë fluorinë.

Më poshtë janë përdorur zakonisht gazra që përmbajnë fluorinë

Trifluoridi i azotit (NF3): Një gaz i përdorur për pastrimin dhe heqjen e depozitave, që zakonisht përdoret për pastrimin e dhomave të reaksionit dhe sipërfaqet e pajisjeve.

Hexafluoride e squfurit (SF6): Një agjent fluorinues i përdorur në proceset e depozitimit të oksidit dhe si një gaz izolues për mbushjen e mediave izoluese.

Fluori i hidrogjenit (HF): Përdoret për të hequr oksidet nga sipërfaqja e silikonit dhe si një etiketim për etiketimin e silikonit dhe materialeve të tjera.

Fluoridi i azotit (NF): Përdoret për të etiketuar materiale të tilla si nitrid silikoni (SIN) dhe nitrid alumini (ALN).

Trifluorometani (chf3) dhetetrafluorometani (cf4): Përdoret për të etiketuar materialet e fluorit si fluorid silikoni dhe fluorid alumini.

Sidoqoftë, gazrat që përmbajnë fluorin kanë rreziqe të caktuara, përfshirë toksicitetin, korrozivitetin dhe ndezshmërinë.

Toksicitet

Disa gazra që përmbajnë fluorinë janë toksike, siç është fluori i hidrogjenit (HF), avulli i të cilit është shumë irritues për lëkurën dhe traktin e frymëmarrjes dhe të dëmshëm për shëndetin e njeriut.

Korrozity

Fluori i hidrogjenit dhe disa fluoride janë shumë gërryes dhe mund të shkaktojnë dëme serioze në lëkurë, sy dhe traktin e frymëmarrjes.

Ndezshmëri

Disa fluoride janë të ndezshme dhe reagojnë me oksigjen ose ujë në ajër për të lëshuar nxehtësi intensive dhe gazra toksikë, të cilat mund të shkaktojnë zjarr ose shpërthim.

Rrezik me presion të lartë

Disa gazra të fluorinuar janë eksplozivë nën presion të lartë dhe kërkojnë kujdes të veçantë kur përdoren dhe ruhen.

Ndikimi në mjedis

Gazrat që përmbajnë fluorin kanë jetë të lartë atmosferike dhe vlera GWP, të cilat kanë një efekt shkatërrues në shtresën e ozonit atmosferik dhe mund të shkaktojnë ngrohje globale dhe ndotje të mjedisit.

Zbatimi i gazrave në fushat në zhvillim siç është elektronika vazhdon të thellohet, duke sjellë një sasi të madhe të kërkesës së re për gazra industrialë. Bazuar në sasinë e madhe të kapacitetit të ri të prodhimit të komponentëve kryesorë elektronikë si gjysmëpërçuesit dhe panelet e ekranit në Kinën kontinentale në vitet e ardhshme, si dhe kërkesën e fortë për zëvendësimin e importit të materialeve kimike elektronike, industria e brendshme e gazit elektronik do të përdorë në një normë të lartë rritjeje.