Përdorimet e Tungsten Hexafluoride (WF6)

Hexafluoride e tungstenit (WF6) depozitohet në sipërfaqen e meshës përmes një procesi CVD, duke mbushur llogoret e ndërlidhjes metalike dhe duke formuar ndërlidhjen metalike midis shtresave.

Le të flasim së pari për plazmën. Plazma është një formë e materies e përbërë kryesisht nga elektrone të lira dhe jone të ngarkuara. Ekziston gjerësisht në univers dhe shpesh vlerësohet si gjendja e katërt e materies. Quhet shteti plazmatik, i quajtur gjithashtu "plazma". Plazma ka përçueshmëri të lartë elektrike dhe ka një efekt të fortë bashkimi me fushën elektromagnetike. Isshtë një gaz i jonizuar pjesërisht, i përbërë nga elektrone, jone, radikale të lira, grimca neutrale dhe fotone. Vetë plazma është një përzierje elektrike neutrale që përmban grimca fizike dhe kimikisht aktive.

Shpjegimi i drejtpërdrejtë është se nën veprimin e energjisë së lartë, molekula do të kapërcejë forcën van der Waals, forcën e lidhjes kimike dhe forcën e Coulomb, dhe do të paraqesë një formë të energjisë elektrike neutrale në tërësi. Në të njëjtën kohë, energjia e lartë e shpërndarë nga jashtë kapërcen tre forcat e mësipërme. Funksioni, elektronet dhe jonet paraqesin një gjendje të lirë, e cila mund të përdoret artificialisht nën modulimin e një fushe magnetike, siç është procesi i etching gjysmëpërçues, procesi i CVD, PVD dhe procesi IMP.

Çfarë është energjia e lartë? Në teori, mund të përdoren si temperaturë e lartë ashtu edhe RF me frekuencë të lartë. Në përgjithësi, temperatura e lartë është pothuajse e pamundur të arrihet. Kjo kërkesë e temperaturës është shumë e lartë dhe mund të jetë afër temperaturës së diellit. Në thelb është e pamundur të arrihet në proces. Prandaj, industria zakonisht përdor RF me frekuencë të lartë për ta arritur atë. Plazma RF mund të arrijë deri në 13MHz+.

Hexafluoride e tungstenit është plazmaizuar nën veprimin e një fushe elektrike, dhe më pas avulli-depozitohet nga një fushë magnetike. Atomet e W janë të ngjashme me pendët e patës së dimrit dhe bien në tokë nën veprimin e gravitetit. Dalëngadalë, atomet W depozitohen në vrimat përmes, dhe më në fund mbushen plot përmes vrimave për të formuar ndërlidhje metalike. Përveç depozitimit të atomeve W në vrimat përmes, a do të depozitohen edhe ato në sipërfaqen e meshës? Po, patjetër. Në përgjithësi, ju mund të përdorni procesin W-CMP, që është ajo që ne e quajmë procesin e bluarjes mekanike për të hequr. Shtë e ngjashme me përdorimin e një fshesë për të fshirë dyshemenë pas dëborës së rëndë. Dëbora në tokë është zhdukur, por dëbora në vrimë në tokë do të mbetet. Poshtë, afërsisht e njëjtë.