Heksafluoridi i tungstenit (WF6) depozitohet në sipërfaqen e pllakës së metalit nëpërmjet një procesi CVD, duke mbushur kanalet e ndërlidhjes metalike dhe duke formuar ndërlidhjen metalike midis shtresave.
Le të flasim së pari për plazmën. Plazma është një formë e materies e përbërë kryesisht nga elektrone të lira dhe jone të ngarkuara. Ajo ekziston gjerësisht në univers dhe shpesh konsiderohet si gjendja e katërt e materies. Quhet gjendja e plazmës, e quajtur edhe "Plazma". Plazma ka përçueshmëri të lartë elektrike dhe ka një efekt të fortë çiftëzimi me fushën elektromagnetike. Është një gaz pjesërisht i jonizuar, i përbërë nga elektrone, jone, radikale të lira, grimca neutrale dhe fotone. Vetë plazma është një përzierje elektrikisht neutrale që përmban grimca fizikisht dhe kimikisht aktive.
Shpjegimi i drejtpërdrejtë është se nën veprimin e energjisë së lartë, molekula do të kapërcejë forcën van der Waals, forcën e lidhjes kimike dhe forcën e Kulombit, dhe do të paraqesë një formë të energjisë elektrike neutrale në tërësi. Në të njëjtën kohë, energjia e lartë e dhënë nga jashtë kapërcen tre forcat e mësipërme. Funksioni, elektronet dhe jonet paraqesin një gjendje të lirë, e cila mund të përdoret artificialisht nën modulimin e një fushe magnetike, siç është procesi i gdhendjes gjysmëpërçuese, procesi CVD, PVD dhe procesi IMP.
Çfarë është energjia e lartë? Në teori, mund të përdoren si RF me temperaturë të lartë ashtu edhe frekuencë të lartë. Në përgjithësi, temperatura e lartë është pothuajse e pamundur të arrihet. Kjo kërkesë për temperaturë është shumë e lartë dhe mund të jetë afër temperaturës së diellit. Në thelb është e pamundur të arrihet në këtë proces. Prandaj, industria zakonisht përdor RF me frekuencë të lartë për ta arritur atë. RF me plazmë mund të arrijë deri në 13MHz+.
Heksafluoridi i tungstenit plazmizohet nën veprimin e një fushe elektrike dhe më pas depozitohet me avuj nga një fushë magnetike. Atomet W janë të ngjashme me pendët e patave të dimrit dhe bien në tokë nën veprimin e gravitetit. Ngadalë, atomet W depozitohen në vrimat e kalimit dhe më në fund mbushen plotësisht me vrima për të formuar ndërlidhje metalike. Përveç depozitimit të atomeve W në vrimat e kalimit, a do të depozitohen ato edhe në sipërfaqen e pllakës së borës? Po, patjetër. Në përgjithësi, mund të përdorni procesin W-CMP, të cilin e quajmë proces mekanik i bluarjes për ta hequr. Është e ngjashme me përdorimin e një fshese për të fshirë dyshemenë pas borës së madhe. Bora në tokë fshihet, por bora në vrimën në tokë do të mbetet. Poshtë, afërsisht e njëjtë.
Koha e postimit: 24 dhjetor 2021
