Përdorimet e heksafluoridit të tungstenit (WF6)

Heksafluoridi i tungstenit (WF6) depozitohet në sipërfaqen e vaferës përmes një procesi CVD, duke mbushur llogoret e ndërlidhjes metalike dhe duke formuar ndërlidhjen metalike midis shtresave.

Le të flasim së pari për plazmën. Plazma është një formë lënde e përbërë kryesisht nga elektrone të lira dhe jone të ngarkuar. Ai ekziston gjerësisht në univers dhe shpesh konsiderohet si gjendja e katërt e materies. Ajo quhet gjendja e plazmës, e quajtur edhe "Plazma". Plazma ka përçueshmëri të lartë elektrike dhe ka një efekt të fortë bashkimi me fushën elektromagnetike. Është një gaz pjesërisht i jonizuar, i përbërë nga elektrone, jone, radikale të lira, grimca neutrale dhe fotone. Vetë plazma është një përzierje elektrike neutrale që përmban grimca aktive fizikisht dhe kimikisht.

Shpjegimi i drejtpërdrejtë është se nën veprimin e energjisë së lartë, molekula do të kapërcejë forcën van der Waals, forcën e lidhjes kimike dhe forcën Kulomb, dhe do të paraqesë një formë të elektricitetit neutral në tërësi. Në të njëjtën kohë, energjia e lartë e dhënë nga jashtë kapërcen tre forcat e mësipërme. Funksioni, elektronet dhe jonet paraqesin një gjendje të lirë, e cila mund të përdoret artificialisht nën modulimin e një fushe magnetike, si procesi i gravimit gjysmëpërçues, procesi CVD, procesi PVD dhe IMP.

Çfarë është energjia e lartë? Në teori, mund të përdoren si RF me temperaturë të lartë ashtu edhe frekuencë të lartë. Në përgjithësi, temperatura e lartë është pothuajse e pamundur të arrihet. Kjo kërkesë për temperaturë është shumë e lartë dhe mund të jetë afër temperaturës së diellit. Në thelb është e pamundur të arrihet në këtë proces. Prandaj, industria zakonisht përdor RF me frekuencë të lartë për ta arritur atë. RF e plazmës mund të arrijë deri në 13 MHz+.

Heksafluoridi i tungstenit plazmizohet nën veprimin e një fushe elektrike, dhe më pas depozitohet në avull nga një fushë magnetike. Atomet W janë të ngjashme me pendët e patës së dimrit dhe bien në tokë nën veprimin e gravitetit. Ngadalë, atomet W depozitohen në vrimat e kalimit dhe në fund mbushen me vrima të plota për të formuar ndërlidhje metalike. Përveç depozitimit të atomeve W në vrimat, a do të depozitohen ato edhe në sipërfaqen e vaferit? Po, patjetër. Në përgjithësi, ju mund të përdorni procesin W-CMP, që është ajo që ne e quajmë procesi i bluarjes mekanike për të hequr. Është e ngjashme me përdorimin e një fshesë për të fshirë dyshemenë pas borës së madhe. Bora në tokë është fshirë, por bora në vrimën në tokë do të mbetet. Poshtë, përafërsisht e njëjta gjë.