Gazet e veçanta elektronike të zakonshme që përmbajnë fluor përfshijnëheksafluorid squfuri (SF6), heksafluorid tungsteni (WF6),tetrafluorid karboni (CF4), trifluorometani (CHF3), trifluoridi i azotit (NF3), heksafluoroetani (C2F6) dhe oktafluoropropani (C3F8).
Me zhvillimin e nanoteknologjisë dhe zhvillimin në shkallë të gjerë të industrisë elektronike, kërkesa e saj do të rritet dita ditës. Trifluoridi i azotit, si një gaz special elektronik i domosdoshëm dhe më i përdorur në prodhimin dhe përpunimin e paneleve dhe gjysmëpërçuesve, ka një hapësirë të gjerë tregu.
Si një lloj gazi special që përmban fluor,trifluori i azotit (NF3)është produkti elektronik special i gazit me kapacitetin më të madh në treg. Është kimikisht inert në temperaturën e dhomës, më aktiv se oksigjeni në temperaturë të lartë, më i qëndrueshëm se fluori dhe i lehtë për t'u trajtuar. Trifluoridi i azotit përdoret kryesisht si një gaz gravues i plazmës dhe një agjent pastrimi i dhomës së reagimit dhe është i përshtatshëm për fushat e prodhimit të çipave gjysmëpërçues, ekraneve të paneleve të sheshta, fibrave optike, qelizave fotovoltaike, etj.
Krahasuar me gazrat e tjerë elektronikë që përmbajnë fluor,trifluori i azotitka avantazhet e reagimit të shpejtë dhe efikasitetit të lartë. Veçanërisht në gravimin e materialeve që përmbajnë silikon si nitridi i silikonit, ai ka një shkallë të lartë gravimi dhe selektivitet, duke mos lënë mbetje në sipërfaqen e objektit të gdhendur. Është gjithashtu një pastrues shumë i mirë dhe nuk ka ndotje në sipërfaqe, gjë që mund të plotësojë nevojat e procesit të përpunimit.
Koha e postimit: Shtator-14-2024
