Përfshihen gazrat elektronikë specialë të zakonshëm që përmbajnë fluorin përfshijnë gazrat elektronikë të zakonshëmHexafluoride e squfurit (SF6), Tungsten hexafluoride (WF6),tetrafluorid i karbonit (cf4), trifluorometani (CHF3), trifluoridi i azotit (NF3), hexafluoroethane (C2F6) dhe oktafluoropropane (C3F8).
Me zhvillimin e nanoteknologjisë dhe zhvillimin në shkallë të gjerë të industrisë së elektronikës, kërkesa e saj do të rritet dita ditës. Trifluoridi i azotit, si një gaz elektronik special i domosdoshëm dhe më i madh në prodhimin dhe përpunimin e paneleve dhe gjysmëpërçuesve, ka një hapësirë të gjerë tregu.
Si një lloj gazi special që përmban fluorin,trifluoridi i azotit (NF3)është produkti elektronik i gazit special me kapacitetin më të madh të tregut. Isshtë kimikisht inerte në temperaturën e dhomës, më aktive se oksigjeni në temperaturë të lartë, më e qëndrueshme se fluori, dhe e lehtë për tu trajtuar. Trifluoridi i azotit përdoret kryesisht si një gaz plazma dhe një agjent pastrimi i dhomës së reagimit, dhe është i përshtatshëm për fushat prodhuese të patate të skuqura gjysmëpërçuese, ekranet e panelit të sheshtë, fibrat optike, qelizat fotovoltaike, etj.
Krahasuar me gazrat e tjerë elektronikë që përmbajnë fluorinë,trifluorid i azotitka avantazhet e reagimit të shpejtë dhe efikasitetit të lartë. Sidomos në gdhendjen e materialeve që përmbajnë silikon si nitrid silikoni, ai ka një normë të lartë të gravimit dhe selektivitetin, duke mos lënë mbetje në sipërfaqen e objektit të gdhendur. Alsoshtë gjithashtu një agjent shumë i mirë pastrimi dhe nuk ka ndotje në sipërfaqe, e cila mund të plotësojë nevojat e procesit të përpunimit.
Koha e postimit: Shtator-14-2024
