Gazrat e zakonshëm elektronikë specialë që përmbajnë fluor përfshijnëheksafluorid squfuri (SF6), heksafluorid tungsteni (WF6),tetrafluoridi i karbonit (CF4), trifluorometan (CHF3), trifluorur azoti (NF3), heksafluoroetan (C2F6) dhe oktafluorpropan (C3F8).
Me zhvillimin e nanoteknologjisë dhe zhvillimin në shkallë të gjerë të industrisë elektronike, kërkesa për të do të rritet dita-ditës. Trifluoridi i azotit, si një gaz elektronik special i domosdoshëm dhe më i përdoruri në prodhimin dhe përpunimin e paneleve dhe gjysmëpërçuesve, ka një hapësirë të gjerë tregu.
Si një lloj gazi special që përmban fluor,trifluorid azoti (NF3)është produkti elektronik i gazit special me kapacitetin më të madh të tregut. Është kimikisht inert në temperaturë ambienti, më aktiv se oksigjeni në temperaturë të lartë, më i qëndrueshëm se fluori dhe i lehtë për t’u trajtuar. Trifluoridi i azotit përdoret kryesisht si gaz për gdhendjen e plazmës dhe si agjent pastrimi i dhomës së reagimit, dhe është i përshtatshëm për fushat e prodhimit të çipave gjysmëpërçues, ekraneve me panel të sheshtë, fibrave optike, qelizave fotovoltaike etj.
Krahasuar me gazrat e tjerë elektronikë që përmbajnë fluor,trifluorid azotiKa avantazhet e reagimit të shpejtë dhe efikasitetit të lartë. Sidomos në gdhendjen e materialeve që përmbajnë silikon, siç është nitridi i silikonit, ka një shkallë të lartë gdhendjeje dhe selektivitet, duke mos lënë mbetje në sipërfaqen e objektit të gdhendur. Është gjithashtu një agjent pastrimi shumë i mirë dhe nuk ndot sipërfaqen, gjë që mund të përmbushë nevojat e procesit të përpunimit.
Koha e postimit: 14 shtator 2024
