Industria e gjysmëpërçuesve dhe industria e paneleve në vendin tonë ruajnë një nivel të lartë prosperiteti. Trifluoridi i azotit, si një gaz elektronik special i domosdoshëm dhe me vëllimin më të madh në prodhimin dhe përpunimin e paneleve dhe gjysmëpërçuesve, ka një hapësirë të gjerë tregu.
Gazrat specialë elektronikë që përmbajnë fluor të përdorur zakonisht përfshijnëheksafluorid squfuri (SF6), heksafluorid tungsteni (WF6),tetrafluoridi i karbonit (CF4), trifluorometan (CHF3), trifluorur azoti (NF3), heksafluoretan (C2F6) dhe oktafluorpropan (C3F8). Trifluoruri i azotit (NF3) përdoret kryesisht si burim fluori për lazerët kimikë me energji të lartë të fluorur hidrogjeni-fluorur gazi. Pjesa efektive (rreth 25%) e energjisë së reagimit midis H2-O2 dhe F2 mund të çlirohet nga rrezatimi lazer, kështu që lazerët HF-OF janë lazerët më premtues midis lazerëve kimikë.
Trifluoridi i azotit është një gaz i shkëlqyer për gdhendje plazme në industrinë e mikroelektronikës. Për gdhendjen e silicit dhe nitritit të silicit, trifluoridi i azotit ka një shkallë gdhendjeje dhe selektivitet më të lartë se tetrafluoridi i karbonit dhe një përzierje e tetrafluoridit të karbonit dhe oksigjenit, dhe nuk ka ndotje në sipërfaqe. Sidomos në gdhendjen e materialeve të qarqeve të integruara me një trashësi më të vogël se 1.5um, trifluoridi i azotit ka një shkallë gdhendjeje dhe selektivitet shumë të shkëlqyer, duke mos lënë mbetje në sipërfaqen e objektit të gdhendur, dhe është gjithashtu një agjent pastrimi shumë i mirë. Me zhvillimin e nanoteknologjisë dhe zhvillimin në shkallë të gjerë të industrisë elektronike, kërkesa e tij do të rritet dita-ditës.
Si një lloj gazi special që përmban fluor, trifluoridi i azotit (NF3) është produkti më i madh i gazit special elektronik në treg. Është kimikisht inert në temperaturë ambienti, më aktiv se oksigjeni, më i qëndrueshëm se fluori dhe i lehtë për t’u trajtuar në temperaturë të lartë.
Trifluoridi i azotit përdoret kryesisht si gaz për gdhendjen e plazmës dhe agjent pastrimi i dhomës së reagimit, i përshtatshëm për fusha të prodhimit si çipa gjysmëpërçues, ekrane me panel të sheshtë, fibra optike, qeliza fotovoltaike, etj.
Krahasuar me gazrat e tjerë elektronikë që përmbajnë fluor, trifluoridi i azotit ka avantazhet e reagimit të shpejtë dhe efikasitetit të lartë, veçanërisht në gdhendjen e materialeve që përmbajnë silikon si nitridi i silikonit, ai ka një shkallë të lartë gdhendjeje dhe selektiviteti, duke mos lënë mbetje në sipërfaqen e objektit të gdhendur, dhe është gjithashtu një agjent pastrimi shumë i mirë, dhe nuk është ndotës për sipërfaqen dhe mund të përmbushë nevojat e procesit të përpunimit.
Koha e postimit: 26 dhjetor 2024
