Sasia më e madhe e gazit elektronik të gazit special - trifluorid i azotit NF3

Industria gjysmëpërçuese e vendit tonë dhe industria e paneleve mbajnë një nivel të lartë prosperiteti. Trifluoridi i azotit, si një gaz elektronik special i domosdoshëm dhe me vëllim më të madh në prodhimin dhe përpunimin e paneleve dhe gjysmëpërçuesve, ka një hapësirë ​​të gjerë tregu.

Përfshihen Gazrat Elektronikë të veçantë që përmbajnë fluorin që përdoren zakonishtHexafluoride e squfurit (SF6), Tungsten hexafluoride (WF6),tetrafluorid i karbonit (cf4), trifluorometani (CHF3), trifluoridi i azotit (NF3), hexafluoroethane (C2F6) dhe oktafluoropropane (C3F8). Trifluoridi i azotit (NF3) përdoret kryesisht si një burim fluori për lazer kimik të gazit të lartë fluorid-fluorid të hidrogjenit. Pjesa efektive (rreth 25%) e energjisë së reagimit midis H2-O2 dhe F2 mund të lëshohet me rrezatim lazer, kështu që lazerët HF-të janë lazerët më premtues midis lazerëve kimikë.

Trifluoridi i azotit është një gaz i shkëlqyeshëm plazmatik në industrinë e mikroelektronikës. Për etiketimin e silikonit dhe nitridit të silikonit, trifluoridi i azotit ka një normë dhe selektivitet më të lartë të etching sesa tetrafluoridi i karbonit dhe një përzierje e tetrafluoridit të karbonit dhe oksigjenit, dhe nuk ka ndotje në sipërfaqe. Sidomos në përpunimin e materialeve të qarkut të integruar me një trashësi më të vogël se 1.5um, trifluoridi i azotit ka një normë dhe selektivitet shumë të shkëlqyeshëm të gravimit, duke mos lënë mbetje në sipërfaqen e objektit të etiketës, dhe është gjithashtu një agjent shumë i mirë pastrimi. Me zhvillimin e nanoteknologjisë dhe zhvillimin në shkallë të gjerë të industrisë së elektronikës, kërkesa e saj do të rritet dita ditës.

Si një lloj gazi special që përmban fluorin, trifluoridi i azotit (NF3) është produkti më i madh elektronik i gazit special në treg. Isshtë kimikisht inerte në temperaturën e dhomës, më aktive se oksigjeni, më i qëndrueshëm se fluori, dhe i lehtë për tu trajtuar në temperaturë të lartë.

Trifluoridi i azotit përdoret kryesisht si agjent i pastrimit të gazit dhe reaksionit, i përshtatshëm për fushat prodhuese siç janë patate të skuqura gjysmëpërçuese, ekranet e panelit të sheshtë, fibrat optike, qelizat fotovoltaike, etj.

Krahasuar me gazrat e tjerë elektronikë që përmbajnë fluorin, trifluoridi i azotit ka avantazhet e reaksionit të shpejtë dhe efikasitetit të lartë, veçanërisht në përpunimin e materialeve që përmbajnë silikon, siç është nitridi i silikonit, ai ka një normë të lartë dhe selektiviteti, duke mos lënë mbetje në sipërfaqen e objektit të etiketës, dhe është gjithashtu një agjent shumë i mirë i pastrimit, dhe ai ka një proces të procesit jo-powuting dhe mund të jetë i detyruar në sipërfaqen e sipërfaqes së sipërfaqes.