Klorur hidrogjeniështë një gaz pa ngjyrë me një erë të fortë. Tretësira e tij ujore quhet acid klorhidrik, i njohur edhe si acid klorhidrik. Kloruri i hidrogjenit është shumë i tretshëm në ujë. Në 0°C, 1 vëllim uji mund të tresë rreth 500 vëllime klorur hidrogjeni.

Ka vetitë dhe karakteristikat e mëposhtme:

1. Pastërti e lartë

Pastërtia e gradës elektronikeklorur hidrogjeniështë shumë e lartë, zakonisht në ppm ose më të ulët, për të siguruar që të mos futen papastërti në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve.

2. Inercia

Është një gaz kimikisht inert që nuk reagon me shumë substanca të tjera, gjë që është shumë e rëndësishme për të parandaluar ndotjen e materialeve dhe pajisjeve gjysmëpërçuese.

3. Stabilitet i lartë

Klasa elektronikeklorur hidrogjeninë përgjithësi ka kimi të qëndrueshme për të siguruar përpunim të besueshëm të gjysmëpërçuesve.

Në përpunimin e gjysmëpërçuesve, aplikimet kryesore të klorurit të hidrogjenit të gradës elektronike përfshijnë:

1. Pastrimi dhe përgatitja e sipërfaqes

Si një pastrues efikas sipërfaqesh, i gradës elektronikeklorur hidrogjeniPërdoret për të hequr oksidet dhe papastërtitë nga sipërfaqja e substratit për të siguruar cilësinë dhe pastërtinë e shtresës ose filmit epitaksial.

2. Ndihmë për rritjen epitaksiale

I përdorur si agjent për trajtimin sipërfaqësor në procesin epitaksial, ndihmon në përmirësimin e cilësisë së shtresës epitaksiale, përmirësimin e përputhjes së rrjetës dhe zvogëlimin e formimit të defekteve të rrjetës.

3. Para-trajtimi i substratit

Para përgatitjes së pajisjeve gjysmëpërçuese, shkalla elektronikeklorur hidrogjeniMund të përdoret për të trajtuar sipërfaqen e substratit për të formuar një bazë të qëndrueshme për të përmirësuar ngjitjen midis shtresës epitaksiale dhe substratit.

4. Agjent ndihmës depozitimi

Në procesin e depozitimit kimik të avujve (CVD) ose depozitimit fizik të avujve (PVD), kloruri i hidrogjenit i gradës elektronike mund të përdoret si një medium transferimi i fazës së gaztë për të marrë pjesë në reaksionin e depozitimit të materialeve gjysmëpërçuese.

5. Agjent transferimi në fazën e gaztë

Si një agjent transferimi në fazën e gaztë, pararendës të tjerë të gaztë futen në dhomën e reagimit për të ndihmuar në rregullimin e shkallës së depozitimit dhe uniformitetit të materialit.

Këto karakteristika e bëjnë elektronikën të klasit të parë.klorur hidrogjeniNjë agjent i rëndësishëm përpunimi në teknologjinë gjysmëpërçuese, i cili ka një ndikim kyç në performancën dhe besueshmërinë e pajisjes përfundimtare.

Përveç përdorimit të tij në përpunimin e gjysmëpërçuesve, kloruri i hidrogjenit i gradës elektronike mund të gjejë një sërë përdorimesh në fusha të tjera, duke përfshirë: Përgatitjen e materialeve me pastërti të lartë, Qelizat e Karburantit, Rritjen e materialeve gjysmëpërçuese, Litografinë e Fazës së Avujve, Analizën e Materialeve, Kërkimet Kimike.

Në përgjithësi, shkalla elektronikeklorur hidrogjeniështë një gaz i gjithanshëm dhe me pastërti të lartë që ka një gamë të gjerë aplikimesh jashtë prodhimit të gjysmëpërçuesve.