Klorur hidrogjeniështë një gaz pa ngjyrë me një erë të fortë. Zgjidhja e tij ujore quhet acid klorhidrik, i njohur gjithashtu si acid klorhidrik. Kloruri i hidrogjenit është shumë i tretshëm në ujë. Në 0 ° C, 1 vëllim uji mund të shpërndajë rreth 500 vëllime të klorurit të hidrogjenit.

Ka vetitë dhe karakteristikat e mëposhtme:

1. Pastërti e lartë

Pastërtia e shkallës elektronikeklorur hidrogjeniështë shumë e lartë, zakonisht në PPM ose në nivelin më të ulët, për të siguruar që asnjë papastërti të mos futet në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesit.

2. Inertiteti

Isshtë një gaz kimikisht inert që nuk reagon me shumë substanca të tjera, gjë që është shumë e rëndësishme për të parandaluar ndotjen e materialeve dhe pajisjeve gjysmëpërçuese.

3. Stabiliteti i lartë

Notë elektronikeklorur hidrogjeniNë përgjithësi ka kimi të qëndrueshme për të siguruar një përpunim të besueshëm gjysmëpërçues.

Në përpunimin gjysmëpërçues, aplikimet kryesore të klorurit të hidrogjenit të shkallës elektronike përfshijnë:

1. Pastrimi dhe përgatitja e sipërfaqes

Si një pastrues efikas i sipërfaqes, shkalla elektronikeklorur hidrogjenipërdoret për të hequr oksidet dhe papastërtitë nga sipërfaqja e substratit për të siguruar cilësinë dhe pastërtinë e shtresës ose filmit epitaksial.

2. Ndihma për rritje të detit

Përdoret si një agjent trajtimi sipërfaqësor në procesin epitaksial, ndihmon në përmirësimin e cilësisë së shtresës epitaksiale, përmirësimin e përputhjes së grilës dhe zvogëlimin e formimit të defekteve të grilës.

3. Parafabrikimi i Substratit

Para përgatitjes së pajisjeve gjysmëpërçuese, shkalla elektronikeklorur hidrogjeniMund të përdoret për të trajtuar sipërfaqen e substratit për të formuar një bazë të qëndrueshme për të përmirësuar ngjitjen midis shtresës epitaksiale dhe substratit.

4. Agjent Ndihmëse Depozitimi

Në procesin e depozitimit të avullit kimik (CVD) ose depozitimit të avullit fizik (PVD), kloruri i hidrogjenit të shkallës elektronike mund të përdoret si një medium transferimi i fazës së gazit për të marrë pjesë në reagimin e depozitimit të materialeve gjysmëpërçuese.

5. Agjenti i transferimit të fazës së gazit

Si një agjent transferimi i fazës së gazit, pararendësit e tjerë të gaztë futen në dhomën e reagimit për të ndihmuar në rregullimin e shkallës së depozitimit dhe uniformitetit të materialit.

Këto karakteristika bëjnë notë elektronikeklorur hidrogjeniNjë agjent i rëndësishëm përpunimi në teknologjinë gjysmëpërçuese, e cila ka një ndikim kryesor në performancën dhe besueshmërinë e pajisjes përfundimtare.

Përveç përdorimit të tij në përpunimin e gjysmëpërçuesit, kloruri i hidrogjenit të shkallës elektronike mund të gjejë një larmi përdorimesh në zona të tjera, duke përfshirë: përgatitjen e materialeve të pastërtisë së lartë, qelizat e karburantit, rritjen e materialit gjysmëpërçues, litografinë e fazës së avullit, analizën e materialit, hulumtimin kimik.

Në përgjithësi, shkalla elektronikeklorur hidrogjeniështë një gaz i gjithanshëm, me pastërti të lartë, që ka një gamë të gjerë aplikimesh jashtë prodhimit gjysmëpërçues.