Tetrafluorid karboni (CF4)

Parametrat Teknikë

Tetrafluoridi i karbonit është një hidrokarbur i halogjenuar me formulën kimike CF4. Mund të konsiderohet si një hidrokarbur i halogjenuar, metan i halogjenuar, perfluorokarbon ose si një përbërje inorganike. Tetrafluoridi i karbonit është një gaz pa ngjyrë dhe erë, i patretshëm në ujë, i tretshëm në benzen dhe kloroform. E qëndrueshme në temperaturë dhe presion normal, shmang oksiduesit e fortë, materialet e ndezshme ose të djegshme. Gaz jo i djegshëm, presioni i brendshëm i kontejnerit do të rritet kur ekspozohet ndaj nxehtësisë së lartë dhe ekziston rreziku i plasaritjes dhe shpërthimit. Është kimikisht i qëndrueshëm dhe jo i ndezshëm. Vetëm reagenti i lëngshëm i metalit amoniak-natrium mund të funksionojë në temperaturën e dhomës. Tetrafluoridi i karbonit është një gaz që shkakton efektin serë. Është shumë i qëndrueshëm, mund të qëndrojë në atmosferë për një kohë të gjatë dhe është një gaz shumë i fuqishëm serrë. Tetrafluoridi i karbonit përdoret në procesin e gravimit të plazmës së qarqeve të ndryshme të integruara. Përdoret gjithashtu si gaz lazer dhe përdoret në ftohës me temperaturë të ulët, tretës, lubrifikantë, materiale izoluese dhe ftohës për detektorë infra të kuqe. Është gazi më i përdorur për gravimin e plazmës në industrinë e mikroelektronikës. Është një përzierje e gazit tetrafluorometan me pastërti të lartë dhe gazit tetrafluorometan me pastërti të lartë dhe oksigjenit me pastërti të lartë. Mund të përdoret gjerësisht në silikon, dioksid silikoni, nitrid silikoni dhe xhami fosfosilikat. Gdhendja e materialeve të filmit të hollë si tungsteni dhe tungsteni përdoret gjithashtu gjerësisht në pastrimin e sipërfaqes së pajisjeve elektronike, prodhimin e qelizave diellore, teknologjinë lazer, ftohjen në temperaturë të ulët, inspektimin e rrjedhjeve dhe detergjentin në prodhimin e qarkut të printuar. Përdoret si një ftohës me temperaturë të ulët dhe teknologji për gravimin e thatë të plazmës për qarqet e integruara. Masat paraprake për ruajtjen: Ruani në një magazinë gazi të padjegshëm të freskët dhe të ajrosur. Mbajeni larg zjarrit dhe burimeve të nxehtësisë. Temperatura e ruajtjes nuk duhet të kalojë 30°C. Duhet të ruhet veçmas nga lëndët djegëse dhe oksidante lehtësisht (të djegshme) dhe të shmanget ruajtja e përzier. Zona e magazinimit duhet të jetë e pajisur me pajisje për trajtimin e emergjencës së rrjedhjeve.

Aplikimi:

① Ftohës:

Tetrafluorometani përdoret ndonjëherë si ftohës me temperaturë të ulët.

② Gdhendje:

Përdoret vetëm në mikrofabrikimin elektronik ose në kombinim me oksigjenin si një gravisht plazmatike për silikonin, dioksidin e silikonit dhe nitridin e silikonit.

Paketa normale:

Avantazhi:

① Pastërti e lartë, objekti i fundit;

② prodhuesi i certifikatës ISO;

③ Dorëzimi i shpejtë;

④Sistemi i analizës on-line për kontrollin e cilësisë në çdo hap;

⑤Kërkesa e lartë dhe procesi i përpiktë për trajtimin e cilindrit përpara mbushjes;