Specifikimi | 99.999% |
Oksigjen + Argon | ≤1 ppm |
Azoti | ≤4 ppm |
Lagështia (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 ppm |
CO | ≤0.1 ppm |
CO2 | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
Halokarbinat | ≤1 ppm |
Papastërtitë totale | ≤10 ppm |
Tetrafluoridi i karbonit është një hidrokarbur i halogjenuar me formulën kimike CF4. Mund të konsiderohet si një hidrokarbur i halogjenuar, metan i halogjenuar, perfluorokarbon ose si një përbërje inorganike. Tetrafluoridi i karbonit është një gaz pa ngjyrë dhe pa erë, i patretshëm në ujë, i tretshëm në benzen dhe kloroform. I qëndrueshëm në temperaturë dhe presion normal, shmangni oksidantët e fortë, materialet e ndezshme ose të djegshme. Gaz jo i djegshëm, presioni i brendshëm i enës do të rritet kur ekspozohet ndaj nxehtësisë së lartë, dhe ekziston rreziku i çarjes dhe shpërthimit. Është kimikisht i qëndrueshëm dhe jo i ndezshëm. Vetëm reagenti i lëngshëm amoniak-natrium metalik mund të funksionojë në temperaturën e dhomës. Tetrafluoridi i karbonit është një gaz që shkakton efektin serë. Është shumë i qëndrueshëm, mund të qëndrojë në atmosferë për një kohë të gjatë dhe është një gaz serë shumë i fuqishëm. Tetrafluoridi i karbonit përdoret në procesin e gdhendjes së plazmës së qarqeve të ndryshme të integruara. Përdoret gjithashtu si gaz lazer dhe përdoret në ftohës me temperaturë të ulët, tretës, lubrifikantë, materiale izoluese dhe ftohës për detektorë infra të kuqe. Është gazi më i përdorur për gdhendje me plazmë në industrinë e mikroelektronikës. Është një përzierje e gazit me pastërti të lartë tetrafluorometan dhe gazit me pastërti të lartë tetrafluorometan dhe oksigjenit me pastërti të lartë. Mund të përdoret gjerësisht në silikon, dioksid silikoni, nitrit silikoni dhe qelq fosfosilikati. Gdhendja e materialeve me film të hollë si tungsteni dhe tungsteni përdoret gjithashtu gjerësisht në pastrimin sipërfaqësor të pajisjeve elektronike, prodhimin e qelizave diellore, teknologjinë lazer, ftohjen me temperaturë të ulët, inspektimin e rrjedhjeve dhe detergjentin në prodhimin e qarqeve të shtypura. Përdoret si një ftohës me temperaturë të ulët dhe teknologji gdhendjeje me plazmë të thatë për qarqet e integruara. Masat paraprake për ruajtjen: Ruajeni në një depo gazi jo të djegshme të freskët dhe të ajrosur. Mbajeni larg zjarrit dhe burimeve të nxehtësisë. Temperatura e ruajtjes nuk duhet të kalojë 30°C. Duhet të ruhet veçmas nga lëndët e djegshme dhe oksiduese që digjen lehtë, dhe shmangni ruajtjen e përzier. Zona e ruajtjes duhet të jetë e pajisur me pajisje për trajtimin emergjent të rrjedhjeve.
① Ftohës:
Tetrafluorometani ndonjëherë përdoret si ftohës me temperaturë të ulët.
② Gdhendje:
Përdoret në mikrofabrikimin e elektronikës vetëm ose në kombinim me oksigjenin si një gërryes plazme për silikonin, dioksidin e silikonit dhe nitritin e silikonit.
Produkt | Tetrafluorid karboniCF4 | ||
Madhësia e paketës | Cilindër 40 litra | Cilindër 50 litra | |
Pesha neto e mbushjes/cilindri | 30 kg | 38 kg | |
Sasia e ngarkuar në kontejner 20' | 250 cilindra | 250 cilindra | |
Pesha totale neto | 7.5 Ton | 9.5 Ton | |
Pesha e tarës së cilindrit | 50 kg | 55 kg | |
Valvula | CGA 580 |
① Pastërti e lartë, objekti më i fundit;
②Prodhuesi i certifikatës ISO;
③ Dorëzim i shpejtë;
④Sistem analize online për kontrollin e cilësisë në çdo hap;
⑤Kërkesë e lartë dhe proces i përpiktë për trajtimin e cilindrit para mbushjes;